無塵室規格及清潔度
2024-05-15
無塵室的應用,大致可分為二類,即工業用無塵室(Industrial Clean Room)簡稱ICR,和生化及醫學用無塵室(Biological Clean Room)簡稱BCR。
在工業用無塵室其清淨度規格方面,有美國聯邦規格標準FS209E(US Federal Standard 209E)及日本國家標準 JIS B9920等多種參考規範.在生化.醫學用無菌室其要求規格有美國航空太空總署(NASA)規範(NHB5340.2)最為普遍。
無塵室的設計通常依照使用需求情況加以檢討再決定採用何種規範作為基準。
以下為常用設計規格摘要。
FS 209E規格表

FS 209E規格表
ISO/TC209 [ISO 14644-1]
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ISO/TC209 [ISO 14644-1]